发表(biǎo)时间: 2021-09-06 11:30:38
作者(zhě): 成都朗(lǎng)锐芯科技发(fā)展有限公(gōng)司
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测控设备领域上我国始终落后与国外发达国家,先进设备都需要从国外购买,去(qù)年疫情(qíng)贸易进(jìn)出(chū)口的封锁(suǒ),让国内买不到国外先进设备而无法进(jìn)行产品制造(zào),也大(dà)多人明白将(jiāng)中国制造转变为中(zhōng)国“智(zhì)”造(zào)迫(pò)在眉睫(jié)。而测控(kòng)系统作为打(dǎ)造国之(zhī)重(chóng)器的重要技术装备,其国产化进(jìn)程更是刻不容缓(huǎn)。
测控设备国产化,不仅可将用户需(xū)求体现在产品上,更多地提高可用性,还能全面提高国产测控设(shè)备的核心竞争力(lì),实现弯道超车。
虽前(qián)景光明,但测控(kòng)设(shè)备的国(guó)产化绝非易事,其包括系统级的国产化、OS级的国产化和(hé)芯片(piàn)级的国产(chǎn)化“三步(bù)走(zǒu)战略”,涉及软件、硬件、算法(fǎ)等众(zhòng)多层面,如(rú)何在(zài)保证(zhèng)系统功(gōng)能和可(kě)靠(kào)性的同时(shí),快速实现(xiàn)国产(chǎn)化(huà)、自主可(kě)控的测控(kòng)系统,打造一张张闪亮的(de)中国“智”造名片,成为各国内企业亟待(dài)解(jiě)决的难题。
纵观半导(dǎo)体的制造流(liú)程,晶圆针测是非常重(chóng)要(yào)的一(yī)环。检测(cè)晶圆的响应参数进(jìn)行(háng)特性(xìng)分类(lèi),需(xū)通过电压输出激励待测晶圆(yuán),再由(yóu)高速的模拟量监测给电(diàn)过程中的响应特性,同时需要大量DiDo的开关量控制(zhì)探针台(tái)位置。
针对上述(shù)需求,为该晶圆(yuán)针测环(huán)节提供了一款具(jù)有16位高分辨率和高达1M的采集速度,并可同时输出两路波(bō)形的高速采集与控(kòng)制(zhì)卡(PCIE-1816H),另外依据不同的数字(zì)控制点(diǎn)选配了多(duō)款控制(zhì)卡(PCI-1737/1757/1753 IO)。基于三(sān)大维度,成(chéng)功助力晶圆检(jiǎn)测设备实现国产化。
在智能制造(zào)的大趋势下,数控机床(chuáng)正向着高精(jīng)度(dù)、高速度、高生产效率(lǜ)的方向发展,这对(duì)机床的动态(tài)特性提出了更(gèng)高的要求。此外(wài),通(tōng)过模态测(cè)试与分析建立机(jī)床的结构动力学模型,也成为优(yōu)化(huà)机床设计与(yǔ)性能、及早发现潜在问题(tí)的有效途径。
对于机床的(de)模(mó)态分析而言(yán),更是一项“精细活”。其主要(yào)是使用力锤、激振器或者激(jī)振台产生脉冲冲击,利(lì)用加速度传感(gǎn)器(qì)在多点进行同步响(xiǎng)应信号的(de)采集,再用数学分析方法计算机械结构的(de)固有(yǒu)振动特(tè)性,每(měi)一个模(mó)态(tài)都有特定的固有频(pín)率、阻尼比和模态振型(xíng)。这套系统此前一直(zhí)由国外公司(sī)提供,不仅(jǐn)面(miàn)临着市场供货不足(zú)的问题,其高昂(áng)的价格也让人(rén)望而却步。
除此之外(wài),国外模态试验(yàn)系统(tǒng)也(yě)面(miàn)临(lín)着技术瓶(píng)颈。为保证实验数据精度和振型辨(biàn)识要(yào)求(qiú),需要在数控机床的主轴、立柱和工作台布置几十个测点,每个(gè)测点采用XYZ三向加速(sù)度传感(gǎn)器,采集通道(dào)高达100路以上。国外系统的模态测试系统一般仅有32通道,只能采取分区测(cè)试的(de)方(fāng)法,不仅非常耗时(shí),而且由于各区(qū)域的(de)测试不是在同(tóng)一激(jī)励下进(jìn)行(háng)的(de),后续分(fèn)析计算(suàn)也(yě)极(jí)为(wéi)复杂(zá)。
针(zhēn)对数控机床模态试验(yàn),为客户量身打造了一套104通(tōng)道同步(bù)振动(dòng)模(mó)态测试系统。该(gāi)系统采用13张PCIE-1803,每片PCIE-1803支持8路信号,共104路,使用内部同步总线可实(shí)现(xiàn)纳秒(miǎo)级同步时间,误差小于100ns。
此外通过增加主机系统,可(kě)以实现200通(tōng)道以上(shàng)的同步采集。应(yīng)变片信号采集通过2片PCIE-1813 实现(xiàn),系统选用IPC-623BP机(jī)箱配(pèi)合PCE-7B17底板支持15片(piàn)PCIE板卡(kǎ)。软(ruǎn)件兼备(bèi)加速规传感器的灵敏度、供电方式、耦(ǒu)合方式、采(cǎi)样频率等设置,同时具有数据采(cǎi)集、曲线显示和(hé)数据保存的(de)功能,实为打造系统(tǒng)级国产化的理想路径。有效解决了国(guó)外模态测试系统价格高、备(bèi)件不足的弊(bì)端,保(bǎo)证了系统的精(jīng)度和稳(wěn)定性,在与客户(hù)的密切合作与快速服务中,高(gāo)效完成国产化替代(dài)的进程(chéng)
测控设(shè)备国产化(huà)“三部曲”,第一曲“系统级(jí)国(guó)产(chǎn)化”已完美谢(xiè)幕。放眼未(wèi)来(lái),国产化之(zhī)路任重道远(yuǎn),仍有诸多挑战等待突(tū)破,等待我们探索其背后的机遇(yù)。下(xià)一期“OS级(jí)国产化”,我们(men)将带你揭(jiē)开中国操作系(xì)统国产化的序幕,敬请关注!